|
|
262 | מלחמות השבבים הרעיון נשאר כמעט זהה למיקרוסקופ ההפוך של ג'יי לתרופ : ליצור תבנית של גלי אור באמצעות "מסכה" שתחסום חלק מהאור, ולאחר מכן להקרין את האור על כימיקלים פוֹטוֹרֵזיסטיים שהונחו על פרוסת סיליקון . הפוטורזיסטים יגיבו לאור, דבר שיאפשר ריבוץ של חומר או חריטתו בצורות מעוצבות באופן מושלם, וייצר שבב . לתרופ השתמש באור גלוי פשוט ובפוטורזיסטים תוצרת קודאק . באמצעות עדשות וכימיקלים מורכבים יותר, התאפשר בסופו של דבר להדפיס צורות קטנות עד כדי כמה מאות ננומטרים על פרוסות הסיליקון . אורך הגל של האור הנראה הוא כמה מאות ננומטרים, תלוי בצבע, כך שניצבו מולו מגבלות כשהטרנזיסטורים נעשו קטנים מדי . בהמשך עברה התעשייה לסוגים שונים של אור על-סגול באורכי גל של 248 ו- 193 ננומטר . אורכי הגל האלה היו יכולים לגלף צורות מדויקות יותר מאשר האור הנראה, אך גם להם היו גבולות, ולכן התעשייה תלתה את תקוותיה באור על-סגול קיצוני באורך גל של 5 . 13 ננומטר . השימוש EUV-ב עורר קשיים חדשים שהתברר שהם כמעט בלתי אפשריים לפתרון . לתרופ השתמש במיקרוסקופ, באור הנראה ובפוטורזיסטים תוצרת קודאק, אך כל רכיבי המפתח של טכנול...
To the book |
|
|